| ※機能リストの記号説明 |
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○ |
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標準搭載 |
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× |
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搭載不可 |
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△ |
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オプション（別料金） |
TomoShop® HT エディション シリーズは、X線源、サンプル及びカメラの運動軌道が回転の円周でなく、
水平並進(Horizontal Translations)の直線軌道の場合に対して、CT再構成機能を有するエディションです。
電子部品の欠陥を検査する工業用非破壊検査において、基板などを検査する自動装置の検査ラインは円周でなく、
直線の方が多いです。しかし、直線軌道は従来の手法を用いて３D情報を得ることが困難なため、ただ1枚の２D情報で
欠陥を抽出していました。 TomoShop® HT エディション では、
弊社のOmni逆投影技術の高汎用性を利用して、直線軌道の検査ラインでも３D断層情報を求めることができ、より正確に欠陥を見つけることができます。
簡単な直線軌道の並進ＣＴ装置の実装方法として、次のような直線軌道並進コーンビームスキャン方式と直線軌道並進平行ファンビームスキャン方式が挙げられます。
A). 直線軌道並進コーンビームスキャンの実装方法の例
B). 密閉X線発生器の直線軌道並進コーンビームスキャンの実装方法
上記A).の実装方法は、照射角度が大きい開放管X線発生器が必要です。
照射角度が小さい密閉管X線発生器の場合、下記ビデオをご参照ください。
C). 直線軌道並進平行ファンビームスキャンの実装方法の例
HT シリーズの各エディションは、
弊社が開発したサブピクセル計測アルゴリズムを付加しているので、
高精度の寸法計測ができます。また、対象物体を部分的に逆投影する機能や、
様々なボクセルサイズに対して対象物体をズーム逆投影できる機能なども付加しています。
謝辞:
このページで表示したビデオデータは、日本装置開発株式会社の木下社長から頂きました。ここで、深い感謝の意を表します。