Talbot現象を利用した回折格子型干渉計法が普通のX線源（放射光に限らず）でも位相変化の検出が可能になります。
しかし、位相像を得られるために、縞走査法と呼ばれる回折格子を何回移動して撮影を行います。
回折格子の移動距離が小さいので，誤差が生じ易いです。その誤差がナノレベルでも、位相像の影響があるので、
高精度の機械操作への要求が必要になります。
弊社の非標準縞走査法技術では、高精度の機械操作を回避できるように、回折格子の移動で誤差があっても画質の良い結果を得られます。
弊社の非標準縞走査法技術では、多周期走査でも適用できます。すなわち、回折格子の多数の周期内で多い回数で移動する場合、より正確な位相像が得られます。
X線Talbot干渉計実際データ
実データの撮影画像は、東北大学の百生先生から頂きました。
回折格子の移動誤差が30nm前後です。
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| 図 1 従来手法で得られた位相微分像 |
図 2 弊社手法で得られた位相微分像 |
[1] 廉 松哲, 楊 海圏, 『位相撮影装置およびその復元方法』, 特願2014-197488、特許第6543838号.